手機版|
二維碼|
微信公眾號
網站手機版
過程控制在線質譜分析儀 Aston?
產品價格 面議
最小起訂量：1 臺 可售數量：10 臺
- 發貨時限：
- 3 天內發貨
- 品牌：
- 德國 Pfeiffer
- 所在地區：
- 上海
- 有效期至：
- 長期有效
- 最后更新：
- 2022-07-01 11:00
- 瀏覽次數：
- 11780
店鋪信息
第1年
模塊化氦質譜檢漏儀 ASI 35
吸槍檢漏儀 ASM 306 S
上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 390
上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340
顯示屏點燈檢測設備
BMW汽車電子功能測試
汽車雷達半成品檢測方案
產品詳情
價格貨期電議
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston?, 通過使用分子傳感技術, 提供半導體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣在線監控, 診斷, 為半導體過程控制提供解決方案, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率, 在現有生產工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內實現晶圓更高產量!
Aston? 特性
實時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導體制造的分子分析原位平臺, 提供實時, 可操作的數據
采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用
可與大批量生產工具完全集成
Aston? 作為一個強大的平臺, 可以取代多種傳統工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 電介質和導電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
Atonarp Aston? 技術參數
類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
型號 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
質量分離 | 四級桿 | |||||
真空系統 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
檢測器 | FC /SEM | |||||
質量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
檢測限 | 0.1 PPM | |||||
工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
功率 | 350 W | |||||
重量 | 15 kg | |||||
尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) | ||||
Atonarp Aston? 應用: 半導體工藝過程控制和優化的重大發展, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率
Aston? 是一款全新設計堅固耐用的緊湊型在線質譜儀, 適用于半導體制造和工業過程控制應用中氣體監測和控制, 高定量精度和實時性與生產穩健性和可靠性相結合, 例如半導體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現在線監控,診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching:識別跟蹤分子
若您需要進一步的了解 Atonarp Aston? 在線質譜儀詳細信息或討論, 請聯絡上海伯東葉女士
免責聲明
本網頁所展示的有關【過程控制在線質譜分析儀 Aston?】的信息/圖片/參數等由的會員【伯東企業（上海）有限公司 】提供，由亞洲新能源汽車網會員【伯東企業（上海）有限公司 】自行對信息/圖片/參數等的真實性、準確性和合法性負責，本平臺（本網站）僅提供展示服務，請謹慎交易，因交易而產生的法律關系及法律糾紛由您自行協商解決，本平臺（本網站）對此不承擔任何責任。您在本網頁可以瀏覽【過程控制在線質譜分析儀 Aston?】有關的信息/圖片/價格等及提供 【過程控制在線質譜分析儀 Aston?】的商家公司簡介、聯系方式等信息。
在您的合法權益受到侵害時，請您致電0755-21036319，我們將竭誠為您服務，感謝您對亞洲新能源汽車網的關注與支持！
m.dasjx.com 深圳市貓頭鷹信息技術有限公司 版權所有| ICP備案：粵ICP備18000966號